PL100龍門氣浮位移臺(tái)
產(chǎn)地：比利時(shí)
? 行程100 x 100 毫米
? 移動(dòng)平臺(tái)尺寸250 x 250 毫米
? 負(fù)載能力30 公斤
? 速度1 米/秒
? 加速度10 米/秒2
? 編碼器分辨率1 納米
? 重復(fù)性0.1 微米
? 精度 X± 0.3 μm
? 精度 Y± 0.3 μm
? 平整度± 0.3 μm
? XY組合平面度± 1μm
? 直線度 X ， Y± 0.3μm
? XY 正交性10 urad
? pitch/yaw/roll:± 3urad/± 3urad/± 3urad
產(chǎn)地：比利時(shí)
? 行程100 x 100 毫米
? 移動(dòng)平臺(tái)尺寸250 x 250 毫米
? 負(fù)載能力30 公斤
? 速度1 米/秒
? 加速度10 米/秒2
? 編碼器分辨率1 納米
? 重復(fù)性0.1 微米
? 精度 X± 0.3 μm
? 精度 Y± 0.3 μm
? 平整度± 0.3 μm
? XY組合平面度± 1μm
? 直線度 X ， Y± 0.3μm
? XY 正交性10 urad
? pitch/yaw/roll:± 3urad/± 3urad/± 3urad
?PL100平面載物臺(tái)有兩個(gè)軸，都懸浮在同一基礎(chǔ)花崗巖上。因此，上軸空氣軸承不會(huì)像堆疊設(shè)置那樣懸浮在下軸上，而是直接懸浮在基礎(chǔ)花崗巖上。兩個(gè)軸可以彼此獨(dú)立移動(dòng)，并且兩個(gè)軸之間沒有機(jī)械耦合。主要優(yōu)點(diǎn)是剛度加倍，精度提高。XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)高速移動(dòng)，僅懸浮在精密花崗巖底座上方的微米處。無論有無負(fù)載，它都能提供動(dòng)態(tài)、平穩(wěn)和可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)。
主要特點(diǎn)
? 行程 100 x 100 mm
? 亞微米精度的高動(dòng)態(tài)平面空氣軸承
? 花崗巖龍門架，精度最高
? 絕對(duì)線性編碼器
完美的解決方案
? 高性能掃描
? 光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)
? 超精密磨削和銑削
? 光伏系統(tǒng)
? 醫(yī)療系統(tǒng)
? X-射線
? 激光加工
? 半導(dǎo)體行業(yè)
? 晶圓處理
產(chǎn)品規(guī)格
定制設(shè)計(jì)和工程支持
我們提供一系列標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，但其他尺寸或其他應(yīng)用也是可能的。我們可以靈活地設(shè)計(jì)XY平臺(tái)，門架，Z平臺(tái)或其組合。歡迎聯(lián)系我們獲取定制解決方案！
服務(wù)熱線：+86-18086051405
郵箱: sales@ulabsystem.com
聯(lián)系我們
