PL300龍門氣浮位移臺
產(chǎn)地：比利時
? 行程300 x 300 毫米
? 移動平臺尺寸250 x 250 毫米
? 負(fù)載能力30 公斤
? 速度1 米/秒
? 加速度10 米/秒2
? 編碼器分辨率1 納米
? 重復(fù)性0.1 微米
? 精度 X± 0.4μm
? 精度 Y± 0.4μm
? 平整 度± 0.5μm
? XY組合平面度± 1 μm
? 直線度 X ， Y± 0.5 μm
? XY 正交性10 urad
? pitch/yaw/roll:± 5urad/± 5urad/± 5urad
產(chǎn)地：比利時
? 行程300 x 300 毫米
? 移動平臺尺寸250 x 250 毫米
? 負(fù)載能力30 公斤
? 速度1 米/秒
? 加速度10 米/秒2
? 編碼器分辨率1 納米
? 重復(fù)性0.1 微米
? 精度 X± 0.4μm
? 精度 Y± 0.4μm
? 平整 度± 0.5μm
? XY組合平面度± 1 μm
? 直線度 X ， Y± 0.5 μm
? XY 正交性10 urad
? pitch/yaw/roll:± 5urad/± 5urad/± 5urad
PL300平面載物臺有兩個軸，都懸浮在同一基礎(chǔ)花崗巖上。因此，上軸空氣軸承不會像堆疊設(shè)置那樣懸浮在下軸上，而是直接懸浮在基礎(chǔ)花崗巖上。兩個軸可以彼此獨立移動，并且兩個軸之間沒有機械耦合。主要優(yōu)點是剛度加倍，精度提高。XY運動平臺高速移動，僅懸浮在精密花崗巖底座上方的微米處。無論有無負(fù)載，它都能提供動態(tài)、平穩(wěn)和可重復(fù)的運動。
主要特點
? 行程 300 x 300 mm
? 亞微米精度的高動態(tài)平面空氣軸承
? 花崗巖龍門架，精度最高
? 絕對線性編碼器
完美的解決方案
? 高性能掃描
? 光學(xué)檢測系統(tǒng)
? 超精密磨削和銑削
? 光伏系統(tǒng)
? 醫(yī)療系統(tǒng)
? X-射線
? 激光加工
? 半導(dǎo)體行業(yè)
? 晶圓處理
產(chǎn)品規(guī)格
定制設(shè)計和工程支持
我們提供一系列標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，但其他尺寸或其他應(yīng)用也是可能的。我們可以靈活地設(shè)計XY平臺，門架，Z平臺或其組合。歡迎聯(lián)系我們獲取定制解決方案！
服務(wù)熱線：+86-18086051405
郵箱: sales@ulabsystem.com
聯(lián)系我們
